光刻机浸没系统，国内的都在做。

中国从事光刻机浸没系统:张江高科、巨光科技、富创精密、上海微电子设备、合肥新硕半导体有限公司、先腾光电等。

1，张江高科

科技创新板上市公司如韦杰创芯、嬴稷芯、赛维电子、从云科技、方毅生物科技、UIH医疗等都是由浦东新区直属的国有控股上市公司培育和孵化的。同时，公司持有国内高端光刻机企业上海微电子10.779%股权。

2.巨光科技

中国最具实力的大功率半导体激光器品牌，公司专注于半导体激光器和激光光学业务。公司的光场均质器性能优异，已在国内R&D重大项目和光刻机样机中使用，并已进入阿斯麦和台积电的供应链。

3.富创精密

中国半导体设备精密零部件龙头企业，主要经营工艺件、结构件、模块产品和气体管道，是全球为数不多的能够量产7 nm工艺件的厂商。已经进入海外头部厂商的供应链，印证了公司强大的产品和技术能力。

4.上海微电子设备公司

有限光刻机主要用于集成电路前端电路、先进封装、FPD、MEMS、LED、功率器件等制造领域。在2018年，大约有60台被发货。营业收入没有公布，政府补贴很多。在技术上处于领先地位的上海微电子设备有限公司量产性能最好的光刻机是90nm的光刻机，所以在制造工艺上差距很大。国内晶圆厂所需的高端光刻机完全依赖进口。

5.合肥鑫硕半导体有限公司

成立于2006年4月，是国内首家半导体直写光刻设备制造商。公司自主研发的ATD4000实现了高达200nm的量产。

6.先腾光电

成立于2013年4月，实现了200nm的最高量产。在2014国际半导体设备及材料展览会上，先腾光电展示了其拥有完全自主知识产权的LED光刻机生产技术，震惊四地。

以上内容参考:百度百科-合肥芯硕半导体有限公司。

以上内容参考:百度百科-先腾光电