上虞晶盛机电工程有限公司单晶硅生长炉

上虞晶盛机电工程有限公司是一家专业从事半导体材料生产设备设计、制造、调试的股份制企业。通过人才引进，公司拥有一批高、中级专业技术的R&D设计师和管理人才，具有独立的产品设计开发能力和相当的生产能力。

公司依托浙江大学机电控制工程研究所的高新技术优势，与浙江大学国家大学科技园杭州向辉电液技术发展有限公司合作，开发出具有自主知识产权的ZJS系列TDR80A、TDR80B、TDR85A、TDR95A全自动晶体生长炉，并形成批量生产。国外以美国KAYEX公司为代表，生产全自动硅单晶生长炉。KAYEX公司是世界上最大和最先进的硅单晶生长炉制造商之一。KAYEX产品早在20世纪80年代初就进入中国市场，并已成为中国半导体行业使用最多的品牌。公司生长的硅晶生长炉从抽真空、检漏、熔化、引晶、等肩径、收尾、停机全过程由电脑控制。晶体产品的完整性和均匀性好，单晶全长直径偏差仅为65438±0mm。主要产品有CG3000、CG6000、KAYEX100PV、KAYEX120PV、KEYEX150、Vision300，投料量分别为30kg、60kg、100kg、65420kg。