半导体晶圆厂有毒吗?

半导体晶圆厂生产的主要产品是半导体晶棒或半导体芯片。常见的硅片,砷化镓片,铟磷片等等。它的主要原料是含有上述元素的化合物。至于它的毒性,要具体分析。原料,二氧化硅没有毒性,但是粉末状的二氧化硅气雾剂会引起尘肺病和肺癌,是有毒的。

此外,半导体工厂常用的掺杂材料大多有毒,如硅烷、砷烷等。、或三甲基镓和其他化合物。它们要么是直接剧毒物质,要么是与空气和水反应后生成的物质有毒。另外传统晶圆厂会切割晶棒,加工过程中产生的粉末也是有害的,原理和粉尘差不多。

Extended Data Wafer Factory将多晶硅熔化,然后将其种入熔体中,然后慢慢拉出,形成圆柱形单晶硅锭。因为硅锭是由熔融硅原料中具有晶面取向的籽晶逐渐形成的,所以这个过程称为“晶体生长”。

硅晶棒经过切割、轧制、切片、倒角、抛光、激光雕刻、封装,成为集成电路工厂的基本原料——硅片,也就是“晶圆”。

百度百科-威化